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半導体製造プロセスと材料 / 大見忠弘監修
ハンドウタイ セイゾウ プロセス ト ザイリョウ
(CMCテクニカルライブラリー ; 205)

データ種別 図書
普及版
出版者 東京 : シーエムシー出版
出版年 2005.10
本文言語 日本語
大きさ v, 274p ; 21cm
書誌ID 1000308511

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2F・開架図書
549.8||H 120050002882

4882318660

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別書名 標題紙タイトル:Process and materials of semiconductor equipment
原タイトル:新しい半導体製造プロセスと材料
一般注記 初版のタイトル: 新しい半導体製造プロセスと材料
著者標目 大見, 忠弘(1939-) <オオミ, タダヒロ>
件 名 BSH:半導体
分 類 NDC8:549.8
NDC9:549.8
ISBN 4882318660
NCID BA7423115X

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