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マイクロ加工の物理と応用 / 吉田善一著
マイクロ カコウ ノ ブツリ ト オウヨウ
(応用物理学選書 ; 8)

データ種別 図書
出版者 東京 : 裳華房
出版年 1998.3
本文言語 日本語
大きさ x, 234p ; 22cm
書誌ID 1000249672

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2F・開架図書
549.7||YY 120020002584

4785325089

書誌詳細を非表示

別書名 その他のタイトル:The physics and technology of microfabrication
一般注記 欧文標題は標題紙裏による
付: 参考文献, 参考書
著者標目 吉田, 善一(1957-) <ヨシダ, ヨシカズ>
件 名 BSH:集積回路
BSH:電子光学
NDLSH:半導体
NDLSH:機械工作
分 類 NDC8:549.7
NDC9:549.7
NDC9:549.8
NDLC:ND371
ISBN 4785325089
NCID BA35144601

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